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首頁(yè) 電子電氣 電子元器件解決方案 平板顯示、太陽(yáng)能電池
平板顯示、太陽(yáng)能電池

平板顯示、太陽(yáng)能電池

我們結(jié)合電子元器件制造過(guò)程中不同類別產(chǎn)品的優(yōu)勢(shì),包含高純度且質(zhì)量穩(wěn)定的特種電子氣體、工藝成熟且品質(zhì)優(yōu)良的濕電子化學(xué)品、具有優(yōu)異阻燃性能和良好耐熱性能。

電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、太陽(yáng)能電池、光纖等工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的基礎(chǔ)性材料,廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。

按電子氣體的用途分類,包括反應(yīng)氣體、刻蝕氣體、清潔氣體和載氣等。隨著微電子工業(yè)的迅猛發(fā)展,對(duì)電子氣體的品種、數(shù)量、質(zhì)量及純度提出了更高的要求。

黎明化工研究設(shè)計(jì)院主要從事含氟電子氣體的研發(fā)和生產(chǎn),掌握多項(xiàng)居于世界先進(jìn)水平的核心技術(shù),并建成了國(guó)內(nèi)規(guī)模領(lǐng)先的產(chǎn)業(yè)化裝置。黎明化工研究設(shè)計(jì)院及洛陽(yáng)黎明大成氟化工有限公司提供多種含氟氣體,國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率處于領(lǐng)先地位,其中電子級(jí)六氟化硫國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率位居第一。蝕刻氣體通常多為氟化物氣體(鹵化物類)。

中昊光明化工研究設(shè)計(jì)院主要從事電子化學(xué)氣體、金屬有機(jī)化合物、金屬烷氧基化合物、金屬氧化物等光電子、微電子材料領(lǐng)域的基礎(chǔ)性源材料的研制開發(fā),現(xiàn)已研制開發(fā)出電子化學(xué)氣體20余種、金屬有機(jī)化合物和金屬氧化物粉體10余種;同時(shí)承擔(dān)多項(xiàng)國(guó)家各類科研攻關(guān)項(xiàng)目。目前主要供應(yīng)乙硼烷、砷烷、磷烷、硒化氫等烷類氣體。乙硼烷、砷烷、磷烷主要用于離子注入等工藝中;硒化氫是一種重要的集成電路生產(chǎn)原材料,也可用于紅外窗口材料制造。一氧化氮(NO)可用于化學(xué)氣相沉積工藝,也可用于制作大氣監(jiān)測(cè)標(biāo)準(zhǔn)混合氣。電子混合氣廣泛應(yīng)用在集成電路生產(chǎn)的摻雜等生產(chǎn)工藝中。

高純六氟化硫

高純六氟化硫

高純六氟化硫(SF6)產(chǎn)品純度已達(dá)99.999%(5N)。黎明院是國(guó)內(nèi)較早研究開發(fā)六氟化硫生產(chǎn)工藝的單位,取得數(shù)十項(xiàng)技術(shù)研究及革新成果。產(chǎn)品質(zhì)量完全達(dá)到了LCD、TFT等生產(chǎn)工藝的需要,并銷往美國(guó)、韓國(guó)、臺(tái)灣等國(guó)家和地區(qū)。高純六氟化硫在微電子行業(yè)中的應(yīng)用,主要可作為優(yōu)良的蝕刻氣體,在光導(dǎo)纖維制造中,可作為單膜光纖隔離層摻添劑,還可作為重要的激光材料用在激光技術(shù)中。

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高純?nèi)谖㈦娮庸I(yè)中作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體,在離子蝕刻時(shí)裂解為活性氟離子,這些氟離子對(duì)硅和鎢化合物,高純?nèi)哂袃?yōu)異的蝕刻速率和選擇性(對(duì)氧化硅和硅),它在蝕刻時(shí),在蝕刻物表面不留任何殘留物,是非常良好的清洗劑,同時(shí)在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運(yùn)用。三氟化氮用于硅和氮化硅蝕刻時(shí),具有更高的蝕刻速率和選擇性,且在被蝕刻物表面不殘留任何物質(zhì)。高純?nèi)∟F3)主要用途,一是用作高能化學(xué)激光氣的氟源,二是作為電子工業(yè)(IC)中的蝕刻劑、清洗劑,三是應(yīng)用于太陽(yáng)能光電產(chǎn)業(yè)。

高純四氟化碳

高純四氟化碳

高純四氟化碳(CF4)是目前最主要的等離子體蝕刻氣體之一,廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的刻蝕。

高純六氟化鎢

高純六氟化鎢

高純六氟化鎢(WF6)主要作為金屬鎢化學(xué)氣相沉積工藝的原材料,應(yīng)用于生產(chǎn)阻擋層和柵極填充材料,以及導(dǎo)電漿糊的原材料。

硒化氫

硒化氫

硒化氫是一種重要的集成電路生產(chǎn)原材料,也可用于紅外窗口材料制造。

高純氨

高純氨

電子工業(yè)中氮化膜的成膜氣體,是化學(xué)氣相沉積重要的“氮”源。高純氨主要應(yīng)用于LED制造業(yè),其中超高純氨是第三代化合物材料氮化鎵(GaN)的關(guān)鍵支撐材料; 在太陽(yáng)能多晶硅電池、LCD顯示屏行業(yè)也被使用,需求一般為5N-6N。

其他氣體

其他氣體

光明化工研究院供應(yīng)電子混合氣(常用蝕刻混合氣、摻雜混合氣、化學(xué)氣相淀積(CVD)混合氣、外延(生長(zhǎng))混合氣、其他電子混合氣)、高純氣(氯乙烯、溴甲烷、氯甲烷、1,3-丁二烯、異丁烯、反-2-丁烯、順-2-丁烯、1-丁烯、異丁烷、正丁烷、環(huán)丙烷、丙二烯等)、標(biāo)準(zhǔn)混合氣體(檢漏混合氣、消毒殺菌混合氣、電光源混合氣、保鮮混合氣、焊接用混合氣、特殊儀器用混合氣、激光混合氣等)。

 

電子混合氣

高純氣

標(biāo)準(zhǔn)混合氣體

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