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平板顯示、太陽能電池
我們結(jié)合電子元器件制造過程中不同類別產(chǎn)品的優(yōu)勢，包含高純度且質(zhì)量穩(wěn)定的特種電子氣體、工藝成熟且品質(zhì)優(yōu)良的濕電子化學(xué)品、具有優(yōu)異阻燃性能和良好耐熱性能。
電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、太陽能電池、光纖等工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的基礎(chǔ)性材料，廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。
按電子氣體的用途分類，包括反應(yīng)氣體、刻蝕氣體、清潔氣體和載氣等。隨著微電子工業(yè)的迅猛發(fā)展，對電子氣體的品種、數(shù)量、質(zhì)量及純度提出了更高的要求。
黎明化工研究設(shè)計院主要從事含氟電子氣體的研發(fā)和生產(chǎn)，掌握多項居于世界先進水平的核心技術(shù)，并建成了國內(nèi)規(guī)模領(lǐng)先的產(chǎn)業(yè)化裝置。黎明化工研究設(shè)計院及洛陽黎明大成氟化工有限公司提供多種含氟氣體，國內(nèi)市場占有率處于領(lǐng)先地位，其中電子級六氟化硫國內(nèi)市場占有率位居第一。蝕刻氣體通常多為氟化物氣體(鹵化物類)。
中昊光明化工研究設(shè)計院主要從事電子化學(xué)氣體、金屬有機化合物、金屬烷氧基化合物、金屬氧化物等光電子、微電子材料領(lǐng)域的基礎(chǔ)性源材料的研制開發(fā)，現(xiàn)已研制開發(fā)出電子化學(xué)氣體20余種、金屬有機化合物和金屬氧化物粉體10余種；同時承擔(dān)多項國家各類科研攻關(guān)項目。目前主要供應(yīng)乙硼烷、砷烷、磷烷、硒化氫等烷類氣體。乙硼烷、砷烷、磷烷主要用于離子注入等工藝中；硒化氫是一種重要的集成電路生產(chǎn)原材料，也可用于紅外窗口材料制造。一氧化氮（NO）可用于化學(xué)氣相沉積工藝，也可用于制作大氣監(jiān)測標(biāo)準(zhǔn)混合氣。電子混合氣廣泛應(yīng)用在集成電路生產(chǎn)的摻雜等生產(chǎn)工藝中。
高純六氟化硫
高純六氟化硫（SF6）產(chǎn)品純度已達99.999％(5N)。黎明院是國內(nèi)較早研究開發(fā)六氟化硫生產(chǎn)工藝的單位，取得數(shù)十項技術(shù)研究及革新成果。產(chǎn)品質(zhì)量完全達到了LCD、TFT等生產(chǎn)工藝的需要，并銷往美國、韓國、臺灣等國家和地區(qū)。高純六氟化硫在微電子行業(yè)中的應(yīng)用，主要可作為優(yōu)良的蝕刻氣體，在光導(dǎo)纖維制造中，可作為單膜光纖隔離層摻添劑，還可作為重要的激光材料用在激光技術(shù)中。
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高純?nèi)谖㈦娮庸I(yè)中作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，在離子蝕刻時裂解為活性氟離子，這些氟離子對硅和鎢化合物，高純?nèi)哂袃?yōu)異的蝕刻速率和選擇性（對氧化硅和硅），它在蝕刻時，在蝕刻物表面不留任何殘留物，是非常良好的清洗劑，同時在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運用。三氟化氮用于硅和氮化硅蝕刻時，具有更高的蝕刻速率和選擇性，且在被蝕刻物表面不殘留任何物質(zhì)。高純?nèi)∟F3）主要用途，一是用作高能化學(xué)激光氣的氟源，二是作為電子工業(yè)(IC)中的蝕刻劑、清洗劑，三是應(yīng)用于太陽能光電產(chǎn)業(yè)。
高純?nèi)谖㈦娮庸I(yè)中作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，在離子蝕刻時裂解為活性氟離子，這些氟離子對硅和鎢化合物，高純?nèi)哂袃?yōu)異的蝕刻速率和選擇性（對氧化硅和硅），它在蝕刻時，在蝕刻物表面不留任何殘留物，是非常良好的清洗劑，同時在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運用。三氟化氮用于硅和氮化硅蝕刻時，具有更高的蝕刻速率和選擇性，且在被蝕刻物表面不殘留任何物質(zhì)。高純?nèi)∟F3）主要用途，一是用作高能化學(xué)激光氣的氟源，二是作為電子工業(yè)(IC)中的蝕刻劑、清洗劑，三是應(yīng)用于太陽能光電產(chǎn)業(yè)。
高純四氟化碳
高純四氟化碳（CF4）是目前最主要的等離子體蝕刻氣體之一，廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的刻蝕。
高純六氟化鎢
高純六氟化鎢（WF6）主要作為金屬鎢化學(xué)氣相沉積工藝的原材料，應(yīng)用于生產(chǎn)阻擋層和柵極填充材料，以及導(dǎo)電漿糊的原材料。
硒化氫
硒化氫是一種重要的集成電路生產(chǎn)原材料，也可用于紅外窗口材料制造。
高純氨
電子工業(yè)中氮化膜的成膜氣體，是化學(xué)氣相沉積重要的“氮”源。高純氨主要應(yīng)用于LED制造業(yè)，其中超高純氨是第三代化合物材料氮化鎵(GaN)的關(guān)鍵支撐材料； 在太陽能多晶硅電池、LCD顯示屏行業(yè)也被使用，需求一般為5N-6N。
其他氣體
光明化工研究院供應(yīng)電子混合氣（常用蝕刻混合氣、摻雜混合氣、化學(xué)氣相淀積（CVD）混合氣、外延（生長）混合氣、其他電子混合氣）、高純氣（氯乙烯、溴甲烷、氯甲烷、1,3-丁二烯、異丁烯、反-2-丁烯、順-2-丁烯、1-丁烯、異丁烷、正丁烷、環(huán)丙烷、丙二烯等）、標(biāo)準(zhǔn)混合氣體（檢漏混合氣、消毒殺菌混合氣、電光源混合氣、保鮮混合氣、焊接用混合氣、特殊儀器用混合氣、激光混合氣等）。
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